第285章 暗影潜伏

咔哒。

配电箱的金属盖板被悄无声息地卸下，露出了后方直通无尘车间的通风管道百叶窗。

那双戴着脏污劳保手套的手从口袋里摸出一个极小的压缩气罐，针头精准地扎进百叶窗的缝隙中。

嗤——！

一缕肉眼不可见的微量凝固气体，顺着管道内壁，无声无息地飘向了光刻机核心车间。

车间内，刺目的白光照亮了整个操作台。

高纯度的金黄色极紫外光刻胶原液，顺着高压微管，稳稳悬停在八英寸晶圆的正中心。

“滴胶。”

程美丽清冷的声音在车间内响起。

一滴粘稠的原液精准滴落。

“启动旋涂。”

嗡——！

旋涂机的真空吸盘死死锁住晶圆，主轴开始高速旋转，发出平稳的低鸣。

金黄色的胶体在离心力的作用下，如同一层完美的薄膜，迅速向晶圆四周铺展开来。

李副部长和几名核心专家屏住呼吸，死死盯着上方悬挂的激光平整度检测仪。

红色的扫描光束在晶圆表面来回穿梭。

滴！

大屏上的数据疯狂跳动，最终死死卡在一个数字上。

0.05微米。

“不行！”

技术组长急得满头大汗，一拳砸在金属护栏上。

“误差卡在0.05微米下不去了！这个平整度根本达不到EUV光源的点火标准！”

程美丽站在操作台前，目光锐利地锁定在高速旋转的主轴底座上。

“机器没问题，是配重。”

她双手快速在键盘上敲击，调出主轴的震动波形图。

“新配方的胶体粘度太高，主轴原有的震动频率产生了微共振。”

“停机。”

嗡鸣声骤停。

程美丽大步走上前，纤细的手指直接点在主轴左侧的金属卡扣上。

“拿配重铅块来。”

“在这里，加0.5克，微调动平衡。”

两名高级技工满头大汗地冲上来，用医用镊子夹着极小的铅块，精准卡入指定位置。

“重新点火旋转！”

主轴再次咆哮着提速。

就在这最关键的瞬间。

头顶的百叶窗内，一股极度微弱的异样气流悄然卷入车间。

滴滴滴滴！

激光检测仪猛地爆发出凄厉的红色警报声！

“怎么回事！”

李副部长惊恐地抬起头。

大屏上，原本平滑的胶体三维扫描图上，肉眼可见地鼓起了一层密密麻麻的微小突起。

“有颗粒！”

检测员尖叫出声，声音里透着绝望。

“胶体表面发生未知凝固反应！刚铺好的涂层要报废了！”

整个车间的空气瞬间凝固，所有人的脸色煞白如纸。

陆川站在操作台侧后方，鼻翼微动，深邃的眼底猛地爆开一团骇人的杀机。

化学凝固剂的微弱气味。

他右脚重重蹬地，修长的身躯化作一道残影，直接扑向墙边的环境控制柜。

砰！

他一拳砸碎防护玻璃，狠狠拉下最顶端的红色拉杆。

“锁死通风口！”

他头也不回地怒吼，声音如炸雷般劈开车间的恐慌。

“启动军用级内循环净化系统！”

轰——！

四台重型净化风扇同时爆发出狂暴的轰鸣，巨大的吸力瞬间将车间内的残余空气强行抽离。

但涂层表面的凝固颗粒已经形成。

“毁了……全毁了……”技术组长双腿发软，死死扒着操作台边缘。

“闭嘴！”

程美丽厉喝一声，半步未退。

意识深处，系统面板瞬间亮起刺目的金光。

【权限确认：系统微调开关已解锁。】

她双手重重拍在操作台上，十指化作残影，疯狂敲击工业键盘，直接绕过机械保护程序。

底层控制代码被她强行撕开一条缺口。

“强行解锁主轴转速锁！”

滴——！

操作台上的红灯陷入疯狂的频闪。

【警告！转速即将突破物理极限！主轴有断裂风险！】

刺耳的机械合成音响彻车间。

陆川拔出腰间的配枪，大步跨回操作台侧前方。

他用高大的身躯死死挡在程美丽身前，枪口斜指地面，冷厉的目光警戒四周，任由警报声撕扯耳膜，连眉头都没有皱一下。

程美丽眼神如刀，左手一把攥住极限加速的金属推杆，骨节发白。

“给我转！”

她猛地将推杆一推到底！

滋——嗡嗡嗡嗡！

旋涂机主轴发出一声几乎要撕裂钢铁的尖啸！

转速在两秒内强行飙升至恐怖的三万转极限！

狂暴无匹的离心力化作无形的巨手，狠狠碾压在晶圆表面！

那些刚刚凝固的微小颗粒，被这股恐怖的力量硬生生撕碎、连根拔起，顺着晶圆边缘疯狂甩飞而出！

啪啪啪啪！

密集的颗粒砸在防爆玻璃内壁上，爆出令人牙酸的密集脆响。

整个机器底座都在剧烈震颤，固定螺栓发出不堪重负的呻吟。

十秒。

二十秒。

三十秒！

“降速！”

程美丽手腕发力，猛地将推杆拉回原位。

尖啸声如潮水般退去。

主轴带着强大的惯性缓缓降速，最终平稳停滞。

车间内死一般的寂静，只剩下净化风扇的低鸣。

所有人的视线，死死钉在上方的电子大屏上。

激光检测仪的红色光束再次扫过晶圆表面。

滴！

一声清脆的系统音。

刺目的红灯瞬间转为柔和的绿光。

大屏上的数字疯狂跳动，最终稳稳地停格。

0.001微米。

检测员死死抓着自己的头发，眼珠子几乎要瞪出眼眶，激动得声音彻底劈了叉。

“降下来了！”

“千分之一微米！平了！完全平了！”

李副部长双腿一软，死死撑着栏杆，眼泪当场就飙了出来。

“快！立刻上报！”

他扯着嗓子嘶吼。

“华夏突破极紫外涂层了！”

震天的欢呼声瞬间掀翻了车间的顶棚。

就在这沸腾的刹那。

陆川收枪入套，深邃的黑眸里闪过一抹暴烈的寒光。

他猛地转身，右腿蓄力爆发，一脚将厚重的防爆大门踹得轰然大开。

整个人化作一道黑色闪电，直冲车间外漆黑的走廊。

走廊尽头的拐角处。

那道穿着脏污后勤制服的黑影，正拼了命地往消防楼梯口狂奔。

“跑？”

陆川冷哼一声，脚下军靴猛地一踩墙面。

他借着墙壁的恐怖反弹力腾空而起，在半空中悍然拧腰。

修长的右腿抡出一道骇人的残影，带着撕裂空气的厉啸，狠狠劈在黑影的后颈上！

砰！

一声令人牙酸的闷响。

黑影连惨叫都没来得及发出，整个人像一滩烂泥般重重砸在坚硬的水泥地面上，向前死死滑出三米多远。

陆川落地如钉，大步上前。

军靴毫不留情地踩住对方的脊背，用力一碾。

啪嗒。

一张深蓝色的卡片，从黑影敞开的工装口袋里滑落，掉在冰冷的地面上。

陆川低头扫了一眼，眼底的杀机瞬间凝固成冰。

那是一张带有军区高级权限的硬质通行证。

职务栏上，清清楚楚地印着六个黑字。

安保处副处长。


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